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GSL-1700X-EV4 程序控温型四坩埚蒸发镀膜仪

简要描述:

GSL-1700X-EV4是一款小型温控型蒸发镀膜仪,内部设有4个蒸发坩埚,且每个蒸发坩埚都带有挡板,最多可放置4种不同的蒸发物料,可在同一气氛下依次镀膜,实现多层膜的沉积工艺。可程序控温,控温范围200-1500℃(选用B型热电偶:1200℃-1700℃),最大可蒸镀直径2英寸薄膜样品,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。

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免费咨询:0755-26959531

发邮件给我们:sales05@szkejing.com

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技术参数
产品结构

 

● 石英真空腔体:280mm OD×260mm ID×310mm H,易清洗和放入样品

● 安装有一个2英寸的样品台,并且样品台可以旋转,使所制薄膜达到更好的均匀性

● 采用钨丝篮作为发热源,max温度可达到1700℃,并且配用专用氧化铝舟,可装入样品(仅

    1600℃以下使用,若蒸发温度大于1600℃,样品应直接放在钨丝篮中)

● 精确控温:可设置30段升降温程序,控温精度为+/-1℃

● 真空度:10-5Torr(如采用分子泵系统)

● 进气系统可实现腔体的清洗和反应蒸发镀膜

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工作电源

 

● 电压:AC220V,50/60Hz,单相

● 功率:1200W,最大电流为30A

 

温控及加热源

 

● 4蒸发坩埚,每个容积为3mL。四坩埚可依次进行蒸发,实现多层膜沉积工艺(不能同时蒸发)

● 采用钨丝篮作为发热源,并且配有专用的氧化铝坩埚,热电偶安装在坩埚底部,以便于温度测量

    和控制(如图1)

● 标准采用S型热偶:工作温度为200℃-1500℃(图2)

● 可选B型热电偶:工作温度为1200℃-1700℃

● 安装有一个数显的温度控制器:可设置30段升降温程序,控温精度为+/- 1ºC(如图3)

● 也可将仪器转换到手动调节接状态,内部不安装热电偶,直接采用手动调节输出电流大小,发热源

   温度可高达2000℃,可实现对样品镀碳等实验(图4)

● 仪器中配备4个蒸发坩埚,每个坩埚均配有2个钨丝蓝加热元件

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                                          图1                    图2                图3                    图4                  图5

 

样品台

 

● 仪器顶部安装有样品台,直径为Φ50mm

● 样品台可旋转,转速为:5rpm

● 样品台和蒸发源之间的距离可以调节,调节范围为:40mm-85mm

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样品厚度监测(可选)

 

● 腔室内可安装精密的薄膜测厚仪,可点击图1&图2查看详情。测厚精度可达0.10 Å。测厚仪LED

   显示可实现:

● 根据数据库,输入涂层信息

● 显示镀膜总厚度以及镀膜速度

● 可选购反射光谱薄膜测厚仪--TFMS-LD,用于薄膜厚度的检测,点击图3查看详情

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真空系统(选配)

 

● 设备上有一KF25接口用于连接真空泵

● MAX真空度可达4.0E-6 Torr(采用涡旋分子泵)

● 双极旋片真空泵或干泵,可使仪器真空腔体的真空度达到10-2Torr

● 真空度达到10-2torr时,可蒸发一些贵金属,如金和铂,也可蒸发一些有机材料,可选购数显

   防腐真空计PCG-554(测量范围3.8x10-5 to 1125 Torr.)

● 高真空度可达4.0E-6 Torr(采用涡旋分子泵),此时可蒸发对氧敏感的材料,如Al. Mg, Li,

   分子泵上带有复合真空计(MAX可测量真空度为1.0E-7Torr)

● 可在本公司选购各种真空泵和真空计

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进气口

 

● 进气接口为1/4NPS,可向真空腔体中通入惰性气体,对腔体进行清洗,也可通入反应气体,

   进行反应蒸发镀膜

● 进气口安装有一针阀,用于调节进气流量

 

耗材

 

● 注:氧化铝坩埚以及钨丝蓝为耗材,可与本公司销售联系购买

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产品尺寸

 

● 总体尺寸:550mm L×550mm W×750mm H

● 石英腔体尺寸:280mm OD×260mm ID×310mm H

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质量认证

 

CE认证

 

质保期

 

一年保质期,终生维护

 

产品质量

 

80kg

 

应用注意事项

 

● 为了获得高真空度,可采用以下做法

    (1)使用前要检查密封圈和法兰上是否有异物或划痕,并用酒精擦洗

    (2)抽真空时,用外部加热装置将腔体烘烤到200℃,氧化铝坩埚预加热到500℃,保持2小时

● 使用温度高于1300℃时,保温时间不可大于1小时,否则会损坏密封圈

● 当腔体的各阀门关闭时,请勿开启升温程序或手动调节电流进行加热

● 当仪器正在蒸发材料时,不可打开泄气阀或关闭真空泵,只有当加热温度降至100℃时,才可放气

   或关闭真空泵

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