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OTF-1200X-RTP-II-5-R 5英寸旋转蒸发镀膜炉

简要描述:

OTF-1200X-RTP-II-5-R是一款5英寸近距离旋转蒸发镀膜炉,其炉腔体是一直径为11英寸的石英管。此款设备专门设计针对于热蒸发或CSS(Close Spaced Sublimation)镀膜实验,其镀膜面积可达到5“x5“,并且顶部载样台可旋转,提高镀膜均匀性。此款高温炉的加热元件是两组红外灯管(分别位于顶部和底部),最大升温速率为10ºC/s 。对于探索新一代的薄膜太阳能电池,

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免费咨询:86-0755-26959531

发邮件给我们:sales05@szkejing.com

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OTF-1200X-RTP-II-5-R是一款5英寸近距离旋转蒸发镀膜炉,其炉腔体是一直径为11英寸的石英管。此款设备专门设计针对于热蒸发或CSS(Close Spaced Sublimation)镀膜实验,其镀膜面积可达到5"x5",并且顶部载样台可旋转,提高镀膜均匀性。此款高温炉的加热元件是两组红外灯管(分别位于顶部和底部),最大升温速率为10ºC/s 。对于探索新一代的薄膜太阳能电池,如CdTe、硫化物和钙钛矿结构太阳能电池,这是一款理想的实验工具。

 

功能特点
  • 由两组红外灯管作为加热元件,分别位于顶部和底部,两温度控制器进行独立控温
  • 最大升温速率为10℃/s
  • 最大温度可达800℃
  • 两样品台距离以及旋转均可通过触摸屏控制
  • 顶部载样台可旋转,转速可调:1-7rpm
技术参数
工作电压AC 220V, 50/60Hz (需要50A的空气开关)
真空法兰

真空法兰为316不锈钢制作

 顶部法兰(可通过控制盒进行上升和下降):

         • 一机械压力表

         • 一KF16接口,可以安装防腐真空计

         • 两个不锈钢精密针阀用于气体的进出

• 底部法兰:

         • 一KF25接口,可以与真空泵相连接

• 法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封:

         • 真空度:20Pa(机械泵)

         • 真空度:10-1 Pa(分子泵)

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加热元件和载样台

由两组红外灯管作为加热元件,分别位于顶部和底部

两个加热台之间的距离可以通过直流电机调节(触摸屏控制),调节范围为:2-50mm

顶部载样台可旋转(触摸屏控制),转速:1-7rpm

为了减少热量辐射和达到较快的冷却速率,加热元件安装在带有水冷夹层的不锈钢壳体中,(不

锈钢壳体采用316不锈钢制作)

采用导热率较高的氮化铝陶瓷片(5"×5"×0.5mm厚度)作为载样台,以达到较好的加热均匀性

注:可选购5"x5"的石墨坩埚放于底部载样台用来盛放蒸发原料,提高温度均匀性

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温控系统

两个精密的温控系统分别独立控制上下两个加热区,可设置30段升降温程序

每个温控系统都带有超温和断偶保护

PC通讯接口,软件可安装,可将控温程序和温度曲线导入到电脑中

工作温度

MAX工作温度为:800℃

两个加热区之间的最大温差为300℃

加热和冷却速率

建议加热速率≤ 10ºC/s(每个温区单独加热)

冷却速率> 10ºC/s (800 - 300ºC)

热电偶两个K型热电偶,安装在顶部和底部,都与氮化铝陶瓷片相接触
可选

此款仪器使用时需要配用一循环水冷机(58L/min)

实验时需要一个真空泵,可与本公司选购真空泵

若要使真空腔体内达到更洁净的工作环境,可换购无油泵

可选购质子流量计混气系统,将实验所需气体安比列混好后导入到真空腔体中

 

质保一年质保期,终生维护(不包括密封圈、加热元件和石英管)
产品尺寸

790mm × 600mm × 1100mm

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使用注意事项

炉管内气压不可高于0.02MPa

由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司

选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品

加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防

意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

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