网站首页|在线留言|联系我们

产品分类
新品展示
您现在的位置:首页 > 产品展示 > 薄膜制备 > 等离子镀膜设备 > GSL-1100X-SPC-16-3 等离子三靶溅射仪

GSL-1100X-SPC-16-3 等离子三靶溅射仪

简要描述:

GSL-1100X-SPC-16-3等离子三靶溅射仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的较简单、可靠、经济的镀膜设备。本机特别之处是在一个真空室内安装了三个靶,旋转样品台可依次在同一样品上涂覆三种材料。因此,适用于实验室各种复合膜样品的制备,以及非导体材料实验电极的制作。

打印当前页

免费咨询:0755-26959531

发邮件给我们:sales05@szkejing.com

分享到:
功能特点
  • 设有真空表、溅射电流表,可实时监控工作状态。
  • 通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀,控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体,以获得the best
  • 镀膜效果。
  • 钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计,可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。
  • 陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。
  • 根据电场中气体电离特性,采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶,使溅射镀层更均匀纯净。
  • 已通过CE认证。
技术参数
安装条件本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
不需要
AC220V 50Hz,必须有良好接地
设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(带减压阀)
工作台尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上
通风装置不需要
Ø45mm
真空室Ø160mm×120mm
MAX真空度≤4×10-2mbar
靶位3个
最大电流50mA
可设定最长时间900s
微型真空气阀连接Ø3mm软管
MAX电压1600V DC
机械泵2L/s
可选配件金、铟、银、铂等各种靶材
标准配件1金靶材1个
2银靶材1个
3铝靶材1个
4进气针阀1个
5保险丝2个
  

留言框

  • 产品:

  • 留言内容:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 详细地址:

  • 省份:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
客户至上 用心服务
在线客服