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PCE-6V 小型等离子清洗机

简要描述:

小型等离子清洗机集成了RF等离子体发生技术、计算机控制技术、软件编程技术,采用气体作为清洗介质,有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。工作时外接一台真空泵,清洗腔内的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面,可短时间内彻底清洗掉有机污染物,清洗程度可达到分子级。另外,其样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现离子蚀刻。此外,其可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。

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功能特点
  • 采用气体作为清洗介质,避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。。
  • 可短时间内彻底清洗掉有机污染物。
  • 清洗程度可达到分子级。
  • 可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。
  • 清洗过程中的辉光放电可对某些特殊用途的材料加强粘附性、相容性和浸润性,并可消毒和杀菌。
  • 样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现离子蚀刻。
  • 广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。
技术参数
电压AC220V 10A
消耗功率<500W(包括真空泵)
RF电源输出功率100W,输出频率13.56MHz
腔体Φ190mm×98mm
细节图1
石英管Φ180mm×55mm,壁厚7mm
内腔Φ165mm×55mm
清洗电极Φ120mm
样品台Φ150mm,有效尺寸Φ140mm
样品台与电极间距15mm-50mm可调
抽气管Φ12mm
极限真空度0.1Pa
工作真空度60Pa-500Pa
气路数量2路(选装)
流量控制器数量1、2
流量显示仪2通道
气路接口Φ6mm
加热样品台Φ140mm,加热样品温度RT-600℃±1℃(选装)
冷却水压力0.2KPa-0.4KPa
工作环境温度5℃-35℃,湿度<80%(相对湿度)不结露,海拔高度0-2000m
尺寸245mm×235mm×460mm(不含真空泵)
重量20kg(不含真空泵)
可选配置

● 加热样品台

● 流量控制器(量程10、50、100,最多可增加2个通道)

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