PDC-36G 等离子清洗机是一种紧凑型、低成本的等离子清洗机。使用空气、氧气、氩气等离子去除纳米级有机物污染。在射频电源的作用下，去除速率大每分钟10纳米。在单晶材料外延薄膜生长以前进行预处理，对生长具有显著的作用 。

● 低功率设定：直流680V，10mA,6.8W

● 中功率设定：直流700V，15mA,10.5W

● 高功率设定：直流720V，25mA,18W

● 射频源输出频率：13.56MHz

● 等离子直流电源

● 输入电压：220V,50Hz

● 直径75mmx长200mm的石英墙体，前盖可以开启

● 高纯度石英腔体，使用寿命比玻璃长

● 您可以订购额外的石英腔体，用于备用

● 如果需要一个通入两种气体的工艺解决方案，PDC-36G等离子清洗机可以与2路混气系统组合（点击下面图片了解详情）

● 您可以订购石英晶片载体来清洁2英寸晶片

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● 此设备不包含真空泵

● 您可以点击下方图片了解真空泵信息

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● 多种气体可以用于等离子清洗，例如氮气、氩气、空气、混合气体，主要取决于处理何种材料。

● 可以使用<4％的H2混合惰性气体

● 警示：不能使用可燃性及腐蚀性气体

353mm（L）x380mm（W）x225mm （H）

8kg（不含泵）

CE认证

● 一年保修，终身技术支持。

● 特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

                    2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

● 点击查看售后服务承诺书。

等离子清洗机工作原理