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PDC-36G 等离子清洗机

简要描述:

PDC-36G 等离子清洗机是一种紧凑型、低成本的等离子清洗机。使用空气、氧气、氩气等离子去除纳米级有机物污染。在射频电源的作用下,去除速率最大每分钟10纳米。在单晶材料外延薄膜生长以前进行预处理,对生长具有显著的作用 。

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免费咨询:86-0755-26959531

发邮件给我们:sales05@szkejing.com

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功能特点
  • 结构紧凑、小型化的桌上型仪器;
  • 用各种气体清洗和去除晶片上纳米级有机污染物;
  • 在制膜实验之前预先清洁镀膜基底的优秀工具。清洗后镀膜的质量可以更好;
  • 铰链式门,方便装样;
  • 石英腔的直径是3英寸,在里面可以放入一个石英舟,最大清洗一个2英寸的基片;
  • 清洗腔里面的石英管可以拆卸,方便清洗和更换;
  • 使用可调射频电源,可以设置功率为低、中、高级别;低成本、操作安全;
技术参数
主要参数

 

● 低功率设定:直流680V,10mA,6.8W

● 中功率设定:直流700V,15mA,10.5W

● 高功率设定:直流720V,25mA,18W

● 射频源输出频率:13.56MHz

● 等离子直流电源

● 输入电压:220V,50Hz

 

等离子腔室

 

● 直径75mmx长200mm的石英墙体,前盖可以开启

● 高纯度石英腔体,使用寿命比玻璃长

 

真空计

 

● 设备标配一个数显电阻真空机用于实时监测清洗仓内的真空度。

 

可选配件

 

● 您可以订购额外的石英腔体,用于备用

● 如果需要一个通入两种气体的工艺解决方案,PDC-36G等离子清洗机可以与2路混气系统组合(点击下面图片了解详情)

● 您可以订购石英晶片载体来清洁2英寸晶片

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真空泵和阀

 

● 此设备不包含真空泵

● 您可以点击下方图片了解真空泵信息

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工作气体

 

● 多种气体可以用于等离子清洗,例如氮气、氩气、空气、混合气体,主要取决于处理何种材料。

● 可以使用<4%的H2混合惰性气体

● 警示:不能使用可燃性及腐蚀性气体

 

 

等离子清洗及刻蚀的方法

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外形尺寸

 

353mm(L)x380mm(W)x225mm (H)

 

净重

 

8kg(不含泵)

 

认证

 

CE认证

 

质保期

 

● 一年保修,终身技术支持。

● 特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

                    2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

● 点击查看售后服务承诺书。

 

工作原理

 

等离子清洗机工作原理

 

 

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