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产品中心
产品型号：GSL-1100X-SPC-16
更新时间：2026-11-11
厂商性质：生产厂家
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服务热线0755-26959531
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| 功能特点 |
|---|
设有真空表、溅射电流表，可实时监控工作状态。
通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀，控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体，以获得好的镀膜效果。
钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计，可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。
陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。
根据电场中气体电离特性，采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀纯净。
| 技术参数 | |
|---|---|
| 电源 | 电压单相AC220V±10%，频率50Hz |
| 工作环境 | 温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh |
| 气源 | 氩气（99.99%以上纯度） |
| 靶直径 | Ø45mm |
| 真空室 | Ø160mm×120mm |
| 真空度 | ≤4×10-2mbar |
| 靶位 | 3个 |
| 最大电流 | 50mA |
| 微型真空气阀 | 连接Ø3mm软管 |
| 极限电压 | 1600VDC |
| 机械泵抽速 | 2L/s |
| 买 | 方： 卖 方：深圳市科晶智达科技有限公司 |
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