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产品型号：MSK-PSE-GEC1515
更新时间：2026-11-11
厂商性质：生产厂家
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服务热线0755-26959531
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| 功能特点 |
|---|
真空腔室：采用304不锈钢腔室，设计有前门双导轨和后门手动铰链结构，前后门带玻璃观察窗及防污
挡板。腔室内外表面经过抛光处理，并预留有照明、膜厚仪等设备接口。
真空系统：配备中科科仪脂润滑分子泵FF-200/1300口径与鲍斯BSV-30机械泵，具有高效的抽气能力，
抽气时间短且极限真空度高（优于2.0×10-5Pa），关机12小时后仍可保持良好真空性能。
基片台：抽屉式结构，可承载最大L150mm*W150mm样品，配气动基片大挡板，支持旋转和水冷功能，与
蒸发源距离可调，手动升降调节最大50mm可调。
蒸发源及电源：系统配置3组舟式蒸发源，金属源采用水冷铜电极+蒸发舟结构，上限温度可达1500℃；
并配备2.4KW蒸发电源，支持恒流和恒压两种驱动模式，可手动/软件控制也可通过膜厚仪PID控制调节蒸发速率。
膜厚控制系统：采用进口INFICON公司的SQC-310膜厚仪，精度高达0.01埃，能自动控制金属蒸发电源
| 技术参数 | |
|---|---|
| 工件架 | 配有自转电动工件盘，一次性放置最大150*150mm样品，配有单转轴空心磁流体 |
| 系统自动控制 | 西门子PLC+触摸屏手自动控制，可输入速率及终厚，PID调节自动控制蒸发电源 |
| 安全保护 | 缺水欠压检测与保护、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护 |
| 真空室尺寸 | 约L400mm×W400mm×H450mm |
| 外形尺寸 | 约L1000mm×W780mm×H2000mm |
| 重量 | 约360kg |
| 循环净化系统 | 净化柱 净化材料：铜催化剂5kg，分子筛5kg |
| 净化能力 | 水、氧<1ppm |
| 循环风机 | 流量0-90m³/h，微处理器控制，经过压力测试的不锈钢装置 |
| 净化安全阀 | 高真空气动挡板阀 |
| 过滤器 | 采用符合HEPA标准的0.3微米孔径滤网的高效率过滤器 |
| 内箱尺寸 | 右侧大内箱约L1000mm*W780*H900mm |
| 整机尺寸 | 约L2410mm*850mm*H1860mm |
| 设备重量 | 约920kg |
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