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VTC-100PA 真空旋转涂膜机(加热型)

简要描述:

VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备

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VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。

功能特点
  • 真空吸附方式固定样件,操作简便。
  • 使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置,以减少偏心而造成的震动或飞片。
  • 根据样件规格可以配用不同的吸盘,且更换方便简单。
  • 设有12组程序,每组包含6个运行阶段。
  • 电机启动快速稳定,可以保证涂层厚度的*性和均匀性。
  • 真空度最大可以达到-0.08MPa。
技术参数
安装条件本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
设备配有进出水口
AC220V 50Hz,必须有良好接地
不需要
工作台尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上
通风装置需要
电机功率350W
速度范围500rpm-10000rpm
程序运行可储存12组程序,每组程序包含6个运行阶段
增减速率设置范围100rpm/s-2000rpm/s
时间范围0-60s
吸盘Ø19mm、Ø60mm
本机可选配加热功能

● 加温范围RT-150℃;

● 加热盖,水槽及吸盘采用耐高温材质聚四氟;

● 温度单独控制,与主机程序控制无关联;

尺寸450mm×280mm×340mm
重量20kg
可选配件过滤器(真空泵用)
标准配件1真空吸盘(含O型圈)2个
2中心定位器(含4个定位柱)1个
3滴胶注射器(20ml)1个
4注射器支架1个
5无油真空泵1台
6橡胶管(含卡箍)1根

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