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GSL-1800X-ZF2 蒸发镀膜仪

简要描述:

GSL-1800X-ZF2蒸发镀膜仪主要应用于大专院校、科研机构、企业实验室及微小产品进行真空镀膜等真空处理的工艺研究、样板试制、操作培训和生产

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免费咨询:86-0755-26959531

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功能特点
  • 采用桌面小型一体化结构,将真空腔体、镀膜电源及控制系统进行整合设计,体积与一台A3打印机相仿。
  • 采用电阻式双蒸发源结构,可快速实现蒸发源的转换。蒸发单元中装有两组蒸发电极可安装不同的蒸发源,适应相应的镀膜材料。
  • 配有0.1%精度蒸发电源,并具有恒流输出功能,对蒸发舟能起到很好的保护作用。
  • 可选配石英晶体膜厚控制仪,在镀膜过程中对镀膜速率和膜层厚度进行控制。
  • 可将采集到的镀膜数据保存到U盘,便于用户分析控制(选配)。
  • 本机将所有功能设计成标准化模块,根据用户不同的需求对相应模块进行组合,以达到the BEST 的镀膜环境,并便于用户维修与维护。
  • 操作控制采用7英寸TFT显示屏显示操作界面,触屏操作,实现全图形化界面,易用易懂。
技术参数
安装条件本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水)
AC220V 50Hz,必须有良好接地
设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(自带Ø6mm双卡套接头)及减压阀
工作台落地式,占地面积2m2以上
通风装置需要
电源AC220V 1500W
蒸发电源功率1000W 5V 200A
蒸发电极有效距离44mm
样品台Ø120mm(可旋转)
膜厚测量精度0.1Å或0.01Å(可选配高精度型)
外接真空机组扩散泵机组(可选配国产110机组或进口机组)(不建议使用扩散泵)
极限真空度>3.0×10-3torr(扩散泵)、3.0×10-4torr(分子泵)(不建议使用扩散泵)
工作真空度5.0×10-3torr
真空接口KF40
使用环境温度35℃,湿度<75%(相对湿度)不结露,海拔<1500m
尺寸440mm×240mm×260mm(不包括真空机组)
重量约47kg(不包括真空泵)

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