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OTF-1200X-RTP-II 近距离蒸发镀膜(CSS)炉

简要描述:

OTF-1200X-RTP-II是一款快速蒸发管式炉,专门针对于用PVD或CSS法来制作薄膜。此款管式炉炉管直径为11“ OD,炉管内载样盘可放置3“ 的圆形或2“x2“的方形基片。加热元件为两组红外灯管,分别安装在腔体的顶端和底部,其升温速率高达20ºC/S 。温控系统为PID30段程序化控制,控温精度为+/-1ºC。仪器面板上带有RS485接口,若仪表内配有控温软件,就可将升温程序和曲线导出。

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免费咨询:86-0755-26959531

发邮件给我们:sales05@szkejing.com

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技术参数
真空腔体

● 腔体为一高纯石英管

● 尺寸: 11" OD x 10.8"ID x 9" H

真空法兰

● 真空法兰材质为316不锈钢制作

● 顶部法兰上有一KF25接口,可以与真空泵相连接,另外安装有两个1/4" 软管接头的出气口

● 底部法兰上有一KF25接口,可以与真空泵相连接,另外安装有两个1/4" 软管接头的进气口

● 法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封,通过真空度可达10-2 torr两个法兰都可以通过手动操作进行上下移动

● 一个数字式真空显示计安装在法兰顶部,可精确测量腔体内真空度

(点击图片查看详细资料)

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混气系统

可以选择两路的混气系统于此款管式炉搭配使用(本公司生产多路浮子和多路质子混气系统)

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加热元件和载样台

● 由两组IR红外灯管进行加热

● 额定功率800 W,总功率:1600W

● 为了减小热辐射和达到快速冷却的效果,加热元件被嵌在水冷机构上

● 一个3"的基片载样台安装腔体顶部

● 紧贴顶部加热元件上安装有一氮化铝基片(3"Dia x0.5mm Thick ),使其仪器使用时样品基片上的温度

   更加均匀

● 3"的石墨坩埚可以放在底部加热元件上来盛装蒸发料

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热电偶两个K型热电偶分别安装在上下法兰上
温控系统

● 两个控温系统都为PID30段程序化控温

● 可以选购PC控温软件,将温度程序设置和温度曲线导入电脑中

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工作温度

● 两个加热区域单独工作的MAX温度: ≤650ºC

● 两个加热区域最大温差: ≤350 ºC

加热和冷却速率

● 加热速率: > 8 ºC /S

● 冷却速率: > 10 ºC /S ( 600 - 100oC)

电源208 - 240VAC, 单相, (需20A的空气开关)
可选配件

本公司出售真空泵和水冷系统

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质保期一年质保期 终身维护 (不包括炉管、密封圈和加热元件损耗件 )
质量认证CE

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