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小型三靶等离子溅射仪

小型三靶等离子溅射仪

简要描述:VTC-16-3HD是一款紧凑型CE认证的等离子薄膜溅射仪(直流普通型),基片最大尺寸2英寸,加热温度为500度和控制面板为触摸屏模式。它可以溅射三种类型的靶材和放置样品的直径是50mm . 旋转样品台,可以依次在同一样品上涂覆三种材料,金靶,银,铜, 它可以与真空泵,不锈钢波纹管KFD25快速卸装卡箍相连用。
VTC-16-3HD小型三靶等离子溅射仪

产品型号: VTC-16-3HD

所属分类:等离子镀膜设备

更新时间:2022-04-07

厂商性质:生产厂家

详情介绍

VTC-16-3HD小型三靶等离子溅射仪是一款紧凑型CE认证的等离子薄膜溅射仪(直流普通型),基片最大尺寸2英寸,加热温度为500度和控制面板为触摸屏模式。它可以溅射三种类型的靶材和放置样品的直径是50mm . 旋转样品台,可以依次在同一样品上涂覆三种材料,金靶,银,铜, 它可以与真空泵,不锈钢波纹管KFD25快速卸装卡箍相连用。

 性能指标和基本配置
主要参数

● 输入电源:220V 通用  功率:< 1KW
● 工作电流: 溅射电流:0-50 mA可调
● 单次工作时间:0-5分钟可调
● 靶头数目:3个
● 输出电压:1600V DC
● 样品台加热温度:500℃(选配,详细请联系售后)

溅射腔体

● 采用石英腔体,尺寸:166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H
● 密封:O形密封圈密封

样品台

● 一个外径50 mm 的样品台,用于盛放基片,可以电动控制移动三个位置
● 溅射距离:溅射距离可调
● 可选购加热型样品台(最高温度可到500℃)
● PID控制器控温精度+/- 1℃(已集成到触摸屏上)
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控制面板

● 控制面板为PLC,4.3" 触摸屏
● 一个控制面板可以控制所有的参数,包括真空度,电流,靶材位置和基片加热温度
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真空泵(选配)

● 用机械泵真空度达 50 mtorr(仅供参考,详情请点击)
● 用分子泵真空度可达 10-4 torr(仅供参考,详情请点击)
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进气口一个精密可调针阀安装在进气口,以实现方便的调节进气量
靶材

● 要求安装靶材的尺寸:直径Φ47mm,厚度0.5-3mm
● 可在本公司选购靶材,具体请点击链接
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各种靶材的参数(仅供参考)对于溅射各种金属靶材,需要摸索最-理想的溅射参数,下表是本公司实验所设置的参数(仅供参考,详情请点击)
靶材种类真空度(Pa)溅射电流(mA)时间(s)溅射次数
Au31-3328-301001
Ag31281001
产品尺寸460mm×330mm×540mm (L×W×H)
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净重50 kg(不包括泵)
使用注意事项

● 由于能量低,该模型不适用于涂层的轻金属材料如Al,Mg,Zn,Ni。请考虑我们的磁控溅射镀膜机或热蒸发镀膜机。点击下面图片查看细节
● 有时为了达到理想的薄膜厚度,可能需要多次溅射镀膜
● 为了得到较好的薄膜质量,必须通入高纯气体(建议> 5N)
● 在溅射镀膜前,确保溅射头、靶材、基片和样品台的洁净
● 要达到薄膜与基底良好结合,请在溅射前清洁基材表面
● 超声波清洗(详细参数点击下面图片):(1)丙酮超声(2)异丙醇超声-去除油脂(3)吹氮气干燥(4)真空烘箱除去水分。
● 等离子清洗(详细参数点击下面图片):可表面粗糙化,可激活表面化学键,可祛除额外的污染物
● 制造一个薄的缓冲层(5纳米左右):如Gr,Ti,Mo,Ta,可以应用于改善金属和合金的附着力
   image.png     超声波清洗机        等离子清洗机     大功率磁控溅射仪              蒸镀仪                     手套箱

警告

● 注意:产品内部安装有高压元件,禁止私自拆装,带电移动机体
● 气瓶上应安装减压阀(设备标配不包括),保证气体的输出压力限制在0.02兆帕以下,以安全使用
● 溅射头连接到高电压。为了安全,操作者必须在关闭设备前装样和更换靶

认证

image.pngCE认证

保修期一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内
点击查看售后服务承诺书。


VTC-16-3HD小型三靶等离子溅射仪

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