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VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪

简要描述:

VTC-16-3HD是一款紧凑型CE认证的等离子薄膜溅射仪(直流普通型),基片最大尺寸2英寸,加热温度为500度和控制面板为触摸屏模式。它可以溅射三种类型的靶材和放置样品的直径是50mm . 旋转样品台,可以依次在同一样品上涂覆三种材料,金靶,银,铜, 它可以与真空泵,不锈钢波纹管KFD25快速卸装卡箍相连用。

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免费咨询:0755-26959531

发邮件给我们:sales05@szkejing.com

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技术参数
主要参数

 

● 输入电源:220V 通用 功率:< 1KW

● 工作电流: 溅射电流:0-50 mA可调

● 单次工作时间:0-5分钟可调

● 靶头数目:3个

● 输出电压:1600V DC

● 样品台加热温度:500℃(选配)

 

溅射腔体

 

● 采用石英腔体,尺寸:166mm OD x 150mm ID x 290mm H

● 密封:采用O形密封圈密封

 

样品台

 

● 一个外径50 mm 的样品台,用于盛放基片,可以电动控制移动三个位置

● 溅射距离:25 - 40毫米可调

● 可选购加热型样品台(MAX温度可到500℃)

● PID控制器控温精度+/- 1℃(已集成到触摸屏上)

1

 

控制面板

 

● 控制面板为PLC,4.3" 触摸屏

● 一个控制面板可以控制所有的参数,包括真空度,电流,靶材位置和基片加热温度

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真空泵(选配)

 

● 用机械泵真空度达 50 mtorr(仅供参考,详情请点击)

● 用分子泵真空度可达 10-4 torr(仅供参考,详情请点击)

1

 

进气口

 

一个精密可调针阀安装在进气口,以实现方便的调节进气量

 

靶材

 

● 要求安装靶材的尺寸:直径Φ47mm,厚度0.5-3mm

● 可在本公司选购靶材,具体请点击链接

1

 

外形尺寸

 

● 460mm×330mm×540mm (L×W×H)

● 净重:50KG(不包括泵)

1

 

质保期

 

一年保修,终身技术支持

特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内

          2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

 

质量认证

 

CE认证

 

各种靶材的参数(仅供参考)

 

对于溅射各种金属靶材,需要摸索THE BEST 的溅射参数,下表是本公司实验所设置的参数(参考值,

详情请点击)

靶材种类真空度(Pa)溅射电流(mA)时间(s)溅射次数
Au31-3328-301001
Ag31281001
使用注意事项

 

● 由于能量低,该模型不适用于涂层的轻金属材料如Al,Mg,Zn,Ni。请考虑我们的磁控溅射镀膜机

或热蒸发镀膜机。点击下面图片查看细节

● 有时为了达到理想的薄膜厚度,可能需要多次溅射镀膜

● 为了得到较好的薄膜质量,必须通入高纯气体(建议> 5N)

● 在溅射镀膜前,确保溅射头、靶材、基片和样品台的洁净

● 要达到薄膜与基底良好结合,请在溅射前清洁基材表面

● 超声波清洗(详细参数点击下面图片):(1)丙酮超声(2)异丙醇超声-去除油脂(3)吹氮气干燥(4)

真空烘箱除去水分。

● 等离子清洗(详细参数点击下面图片):可表面粗糙化,可激活表面化学键,可祛除额外的污染物

● 制造一个薄的缓冲层(5纳米左右):如Gr,Ti,Mo,Ta,可以应用于改善金属和合金的附着力

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    超声波清洗机            等离子清洗机    大功率磁控溅射仪             蒸镀仪                 手套箱

 

警告

 

● 注意:产品内部安装有高压元件,禁止私自拆装,带电移动机体。

● 气瓶上应安装减压阀(设备标配不包括),保证气体的输出压力限制在0.02兆帕以下,以安全使用。

● 溅射头连接到高电压。为了安全,操作者必须在关闭设备前装样和更换靶材

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