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PCE-22 紫外臭氧清洗机

简要描述:

PCE-22是一款可加热型的紫外臭氧清洗机,其加热温度可达150℃。此款设备可用于清洗各种基片,为制作高质量的薄膜打好基础。特别适合移除光刻胶,改善表面润湿性,清洗SEM &TEM,紫外对聚合物改性等。

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免费咨询:86-0755-26959531

发邮件给我们:sales05@szkejing.com

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紫外臭氧清洗提供了一种无酸、干燥对材料无损伤的原子级别的清洗手段,特别适合清除一些有机化合物。紫外灯主要发出两种波长的光:185nm和254nm。其中185nm的光可把空气中的氧气变为臭氧,254nm可以破坏化合物中的键(特别是碳碳键)。所以这两种波长的光组合可有效地清除有机化合物。

技术参数
主要参数

 

● 功率:最大350W

● AC 208~240V,单相 50/60Hz

 

应用

 

● 去除分子级别的污染物

● 紫外光固化粘合剂

● 紫外光催化

● 氧化PDMS

● 表面消毒

● 刻蚀

● 清洗MEMS 器件

● 清洗各种基片,如Si, Ge, GaAs和各种氧化物单晶基片

 

紫外灯

 

● 可发出双波长的水银灯

● 功率:55W

● 发出光的波长:254 nm 和 185 nm

● 使用寿命:2500 小时(可更换)

● 照射区域:200 x 200 mm

1

 

腔体&样品台

 

● 不锈钢壳体

● 抽屉式样品台,以便放样取样

● 样品台面积310 mm x 320 mm

● 臭氧通风装置安装在腔体上

● 样品台与紫外灯的距离:20mm-40mm(可调)

● 样品台可以加热,MAX温度可达150℃

● 可设置20段升降温程序,控温精度为+/-1℃

● 设备运行时间:0.01 秒- 99.9小时

1

 

排气口

 

● 直径为80mm的排气口安装在仪器后端

● 请将橡胶管与排气口连接,将臭氧排出到实验室外

● 仪器中不包含橡胶管

1

 

环境要求

 

● 仅室内使用; 海拔高度5500英尺以内

● 温度范围:41-104华氏度

● 最大相对湿度80%,最大87华氏度,104华氏度线性降至50%相对湿度

● 主电源波动不超过额定电压的10%

● 污染等级2; 臭氧水平(环境)测量<45 ppb

 

外形尺寸

 

● 510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)

1

 

净重

 

28kg

 

认证

 

CE认证

 

质保期

 

● 一年保修,终身技术支持。

特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

          2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

● 点击查看售后服务承诺书。

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