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PCE-500W 500W等离子刻蚀清洗机

简要描述:

PCE-500W是一款较大型的500W等离子刻蚀清洗机,等离子腔体为 8.5 “dia x 14.4“L的石英腔体,采用的射频电源频率为13.56MH,功率0 -500W连续可调节。此款设备功率高,可用于等离子刻蚀、等离子灰化、表面改性以及材料掺杂改性等应用,对于基片的清洗以及薄膜处理此款设备是较为理想的实验帮手。

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免费咨询:86-0755-26959531

发邮件给我们:sales05@szkejing.com

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PCE-500W是一款较大型的500W等离子刻蚀清洗机,等离子腔体为 8.5 "dia x 14.4"L的石英腔体,采用的射频电源频率为13.56MH,功率0 -500W连续可调节。此款设备功率高,可用于等离子刻蚀、等离子灰化、表面改性以及材料掺杂改性等应用,对于基片的清洗以及薄膜处理此款设备是较为理想的实验帮手。

技术参数
主要参数

 

● 射频功率:0-500W

● 总功率:1.5KW

● 电源:AC220V 50/60Hz

 

射频电源

 

● 射频功率可在0-500W之间调节

● 频率:13.56MHz

注:可与本公司工作人员联系选购1KW高功率等离子刻蚀清洗机

 

等离子腔体

 

● 8.5" O.D x 8.2" I.D x 14.4" L 高纯石英腔体

● 铝制折叠式法兰来进行真空密封

● 法兰上有一个直径为60mm的观察窗口

● 此设备完全屏蔽射频辐射,零射频泄漏

 

控制面板

 

● 通过6" 彩色触摸屏,可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等

● 仪器内部安装有一0 - 100ml/minute质量流量计,可精确地控制进气流量

 

真空泵(选配)

 

● 仪器必须使用抽气速率大于4L/S的真空泵

● 极限真空度为80mTorr(参考值,具体请点击)

● 1

 

通入气体

 

● 等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子,如N2, Ar, Air,H2、O2和混合气体等等(根据材料性质所定)

● 不能使用易燃气体及腐蚀性气体。

 

可选

 

● 可选购 2" - 6" 石英舟来盛放基片

● 可选购2-4通道质子或浮子混气系统

● 1 1

 

外形尺寸

 

620 L ×600 W ×600 H mm

1

认证

 

CE认证

 

质保期

 

● 一年保修,终身技术支持。

● 特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

                        2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

● 点击查看售后服务承诺书。

 

相关应用

 

● 请自行根据您的应用测试等离子功率

● 对于等离子清洗,根据工艺,通常保持射频功率在10 - 30W之间

● 对于等离子刻蚀,根据工艺,通常保持射频功率在35 - 80W之间

● 可根据要求提供300W高功率射频电源

 

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