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GSL-1100X-PJF-A等离子表面处理仪

简要描述:

GSL-1100X-PJF-A是等离子枪和可控制的样品台结合在一起的产品,有自动控制的样品台,就可使等离子枪按设定程序对样品表面进行更均匀涂覆和处理,保证处理样品表面的*性和均匀性。此系统是由RF发生器、气体传输管、等离子枪头和X-Y移动的工作台(带有真空吸盘和控制盒)。此系统产生等离子束可在非真空和低温状态下活化和清洗样品表面,可处理的样品有单晶片,光学元件和塑料等,也可在常压下进行等离子增强

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GSL-1100X-PJF-A是等离子枪和可控制的样品台结合在一起的产品,有自动控制的样品台,就可使等离子枪按设定程序对样品表面进行更均匀涂覆和处理,保证处理样品表面的*性和均匀性。此系统是由RF发生器、气体传输管、等离子枪头和X-Y移动的工作台(带有真空吸盘和控制盒)。此系统产生等离子束可在非真空和低温状态下活化和清洗样品表面,可处理的样品有单晶片,光学元件和塑料等,也可在常压下进行等离子增强气相沉积。

技术参数
主要参数

 

● 工作环境:温度 < 42°C,湿度 ≤ 40℃RH

● 输入电源:208 V- 240VAC, 50Hz, < 1000W

● 等离子体工作压力

 

RF发生器

 

● 输出频率:20-23kHz , 25KV

● 等离子枪头:仪器中包括两种等离子枪头:圆形头:10-12mm,矩形头:15-18mm

● 1 1

 

输入气体气压,工作气体

 

● 40 PSI min.(0.055 Mpa)

● Air, N2, Ar, He 或混合气体(不可通入易燃易爆气体 )

 

样品台和控制柜

 

● 配有可在X-Y轴移动的样品台,通过步进电机驱动,采用SBC控制盒控制

● 可手动调节样品台在Z轴方向上的移动距离

● 控制盒采用LCD显示,可设置其等离子枪头的扫描程序

● 最大扫描范围:8" x 9"

● 一个直径为4"的真空吸盘安装在X-Y样品台上,可吸住直径为6"的样品

● 配有一真空泵,可与真空吸盘相连接

● 整个系统安装在一移动架上(600x600x 800Lmm)

● 可选:可选加热样品台(MAX温度可加热到500℃),也可将设备放置在手套箱中操作

● 1 1 1 1 1

 

外形尺寸

 

● 处理样品台尺寸:560mm L x483mm W x 609mm H

● 等离子源尺寸: 406mm L x 508mm W x 230mm H

● 控制盒尺寸:330mm L x 305mm W x 152mm H

 

净重

 

55kg

 

认证

 

CE认证

 

质保期

 

● 一年保修,终身技术支持。

● 特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

                        2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

● 点击查看售后服务承诺书。

 

文献

 

● 请点击链接以了解更多关于AP-PECVD应用的信息:常压等离子体增强化学气相沉积(AP-PE-CVD)用于在低温下生长薄膜。

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