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原子层沉积系统

原子层沉积系统

简要描述:原子层沉积系统


深圳市科晶智达科技有限公司2001年成立于深圳,是一家聚焦服务于高校、研究院所、企业研发部门的国家技术企业,长期致力于打造安全、高效、智能的实验研发一站式服务平台,为科学研究与产业孵化赋能。
深圳科晶与美国MTI、合肥科晶、沈阳科晶同属MTI-科晶联盟,目前已经搭建辐射的服务网络,精心为科学家们的实验室提供交钥匙工程解决方案。

产品型号: MSK-PSE-ALD1010

所属分类:钙钛矿太阳能电池制备

更新时间:2024-11-06

厂商性质:生产厂家

详情介绍

MSK-PSE-ALD1010原子层沉积系统


 功能特点


  • 外热式反应腔体,加热结构在真空室外,反应腔室维护保养无需拆卸腔室加热器或样品台加热器;

  • 配有可拆卸片托,支持100mm*100mm方片及以下尺寸的样品;

  • 3路前驱体源系统(包括2路金属源和1路水源);

  • 高性能真空系统和残余前驱体源处理热阱;

  • 自动控制沉积系统和工艺压力实时检测显示;

  • 可置于手套箱底部与手套箱对接;

  • 可视化的操作界面,实时显示系统各部分运行状态,可方便的调节温度、流量、脉冲时间等参数,编辑并保存配方参数;

  • 多用户权限分配,软硬件互锁,异常报警、紧急停机等功能确保安全性;

  • 沉积模式可设为连续模式或停流模式;

  • 外置移动支架显示器操作。


MSK-PSE-ALD1010原子层沉积系统

  技术参数
电源三相五线制AC380V±10%,频率50Hz/60Hz,功率约12KW
反应腔体腔室外热式单腔腔室
样品尺寸最大100mm*100mm方片及以下尺寸
反应温度最高150℃
前驱体源系统金属源2路标准加热前驱体源
配置Swagelok高温快速ALD阀(响应时间<10ms)、手动隔膜阀和50mL不锈钢源瓶
源瓶及管路加热温度室温至200℃
水源1路水源
配置Swagelok高温快速ALD阀(响应时间<10ms)、手动球阀和50mL不锈钢源瓶
载气系统2路载气系统
全套管路+VCR密封,前驱体源管路具有在线清洗功能
真空系统极限真空小于5×10-3Torr
真空漏率小于5×10-7Pa·L/s
真空泵抽速40m³/h
其他配置真空泵前级配置热阱,加热温度最高600℃,控制精度±1℃,用于吸附、分解未反应的前驱体源
真空计真空计前设有保护真空计的高效过滤网,沉积过程中可以实时监测显示腔室压力的变化
主机PLC+4U工控机+显示器




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