应用范围：PCE-22-LD是一款可加热的紫外臭氧清洗机，其加热温度可达150℃。此款设备可用于清洗各种基片，为制作高质量的薄膜打好基础。特别适合移除光刻胶，改善表面润湿性，清洗SEM＆TEM，紫外对聚合物改性等。紫外臭氧清洗提供了一种无酸、干燥对材料无损伤的原子级别清洗手段，特别适合清除一些有机化合物，紫外灯主要发出两种波长的光：185nm和254nm，其中185nm的光可把空气中的氧气变为臭气

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