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快速升温炉

快速升温炉

简要描述:OTF-1200X-4-RTP-130 快速升温炉
应用范围:OTF-1200X-4-RTP-130 是一款精巧型快速热处理管式炉,配有Φ130mm石英管和不锈钢密封法兰,它是专为氧化物、半导体或太阳能电池基片(最大达4英寸)的快速退火而设计,采用红外灯管加热最快升温速度为50℃/秒,精度为+/-1°C。

产品型号: OTF-1200X-4-RTP-130

所属分类:400-1200℃箱式炉

更新时间:2022-02-18

厂商性质:生产厂家

详情介绍
OTF-1200X-4-RTP-130快速升温炉 是一款精巧型快速热处理管式炉,配有Φ130mm石英管和不锈钢密封法兰,它是专为氧化物、半导体或太阳能电池基片(最大达4英寸)的快速退火而设计,采用红外灯管加热最快升温速度为50℃/秒,精度为+/-1°C。
  技术参数
名称型号快速升温炉OTF-1200X-4-RTP-130
产品特点红外加热,最快升温速率50℃/S

最大4英寸基片都可以放入退火

法兰安装在滑轨可以直接推拉,实现快速降温。

可以选配压缩波纹管在气氛环境下冷却

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加热炉系统输入电源 AC 380V 50HZ,最大功率:24KW

最高工作温度:900℃(<30min),长期工作温度:800℃

控温热电偶:进口K型热电偶,紧贴在放样品ALN片下(ALN片为标配,可按照客户要求定制不同材质基片)

加热元件:红外灯管12根短波红外灯管,每根2KW

加热区尺寸:Ф210mm*320mm

室温至900℃:建议升温速率10℃/s最大升温速率50℃/s

降温速率:800℃-350℃降温速率55℃/min 350℃-200℃降温速率5℃/min(在一个大气压下,样品架在炉子内)

降温速率:800℃-350℃降温速率200℃/min 350℃-50℃降温速率35℃/min(在一个大气压下,样品架拉到炉体外)

标配浮子流量计:16-160ml/min

石英管外径130mmx内径120mmx600mmL

包含一款808P型温度控制器(也可选配欧陆仪表恒温精度可达±0.1℃)

PID自动控温系统

智能化30段可编程控制

控温精度:±1℃

默认DB9PC通信连接端口

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不锈钢密封法兰系统水冷密封法兰,密封法兰和腔体法兰之间采用硅胶O型圈密封方式。

左端法兰装有机械压力表和进气截止阀,左边炉体上留有进气口,进气时,气体通过浮子流量计后进入法兰进气口,然后进入炉管内。

左端法兰内侧有石英制隔热挡板。

右端法兰上装有出气截止阀,一个KF25接口用于抽真空,一个1/4英寸双卡套接头用于插入热电偶。

右端法兰内侧有石英制隔热挡板和样品支架,热电偶测温点位于样品正下方。

右端法兰安装在滑轨上可以直接推拉,实现快速退火。

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水冷机(选配)型号:KJ-5000

工作电压:AC 220V 50HZ

工作电流:1.4-2.1A,制冷量:2361Btu/h

压缩机功率:300W,水箱容量:6L

最大流量:16L/min,净重:24Kg


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真空系统(选配)配套机械泵,真空度可以达到10-2ttor

配套分子泵,真空度可以达到10-5ttor

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产品尺寸外形尺寸:1100*700*660mm(长*宽*高 法兰关闭)

外形尺寸:1400*700*660mm(长*宽*高 法兰打开)

外形尺寸:1100*700*950mm(长*宽*高 炉子打开,法兰打开)

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重量约100kg
保质期1年(不包含炉管,氟胶O型圈和加热元件等损耗件)
使用注意事项石英管内气压不可高于0.02MPa;

由于气瓶内部气压较高,所以向石英管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全;

对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体,如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体,请客户自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题,本公司概不负责。

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